https://novawiki.app/index.php?action=history&feed=atom&title=%EC%82%BC%EB%B6%88%ED%99%94%EC%A7%88%EC%86%8C 2026-04-17T15:09:39Z 이 문서의 편집 역사 MediaWiki 1.41.1 https://novawiki.app/index.php?title=%EC%82%BC%EB%B6%88%ED%99%94%EC%A7%88%EC%86%8C&diff=89902&oldid=prev 2026-01-08T09:40:17Z

<p>DCWiki 복구: 최신본 이식</p> <p><b>새 문서</b></p><div>{{헬지구}}{{이과}}<br /> {{온실가스}}<br /> <br /> 말그대로 질소분자1개와 플루오르분자3개가 결합된물질이며 분자식은 NF3인 물질이다.<br /> <br /> 반도체생산에 사용되는데 반도체는 민감하기 때문에 매우 깨끗해야 한다.<br /> <br /> 때문에 반도체는 세척공정이 필요한데 삼불화질소는 이때 반도체 세척에 사용된다.<br /> <br /> 하지만 삼불화질소는 생산이 매우 까따로운 물질이다.<br /> <br /> 왜냐면 삼불화질소는 생산할때 암모니아와 불산이 필요하기 때문이다.<br /> <br /> 암모니아는 폭발위험이 높고 불산은 인체에 대단히 치명적인 물질이다.<br /> <br /> 그래서 삼불화질소는 생산이 어렵다.<br /> <br /> 그리고 더 중요한건 삼불화질소는 지구온난화를 일으키는 온실가스이다.<br /> <br /> 지구온난화를 일으키는 능력이 이산화탄소보다 1만배이상이나 강력하고 게다가 대기중에서 머무르는 기간도 무려 800년에 달한다고 한다.<br /> <br /> 방출량은 적지만 엄청나게 강력한 온실효과와 대기중에 머무르는 기간이 무지막지하게 길어서 각별히 주의해야한다.<br /> <br /> 반도체생산에 사용되므로 반도체생산과정에서 발생한다.<br /> <br /> 그리고 사용후 대기중방출을 방지하기위해 재회수하는것이 매우 중요하다.<br /> <br /> [[분류:분류필요]]</div>

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